Advanced Energy 經過現場驗證的 Precision Power™ 解決方案（àn）可在各種等離子電源應用中提供（gòng）同類產品最佳（jiā）的控製和穩定性。我們全（quán）麵的功率輸出技術 40 多年來不（bú）斷引領工藝創新，並將與我們（men）的合作夥伴一起繼（jì）續推動技術向前發展（zhǎn）。
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Paramount® HFi 是一種集成射頻傳輸解決方案，適用於沉積和其他基於半導體等（děng）離（lí）子體的工藝（yì）。一個電可切換固態電容器陣列與射頻功率放大器物理集成，提供最緊湊的形（xíng）狀因數（shù）功率傳輸係統。由於（yú）整體封裝（zhuāng）尺寸幾乎等於傳統射頻功率（lǜ）發生器，這種設計還包括公共外（wài）殼內的匹配網（wǎng）絡。匹配網絡具有（yǒu）32個（gè）調諧範圍位置，允許在廣（guǎng）泛的阻抗範圍內可靠的射頻功率傳輸。 除了減少占用空間之外，機械驅動的真空電容器在集成匹配網絡中被固態組件取代，以（yǐ）提高可靠性和可重複性——這是高周期、重複性過程中的關鍵（jiàn）屬性。通過省略傳統的獨立（lì）真空（kōng）電容器匹配網絡，實（shí）現了非（fēi）常快速的調諧和直接的功率調節（jiē），減少了當今短周期、高步數沉積過程中的延遲。
