從各種安裝方式和尺(chǐ)寸到全數字(zì)控(kòng)製和動態等離子響應,我們的射頻發生器是工藝創新的源動力。您可以從多種型號中靈活選擇,並使用獨特的配置和控製功能來滿足特定的應用(yòng)要求。
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以新的運營靈(líng)活性為重點,推進流程開發。派拉蒙®高頻射頻發生器提供寬功(gōng)率範圍,支持多種集成場景,並配備標準串行/模擬接口(kǒu)和其他可選通信接口(kǒu)。派拉(lā)蒙HF能夠實現高縱橫比器件所需的高等離子體密度和離子(zǐ)能量,並加(jiā)快半導體加工工具(jù)下一節點的加(jiā)工速度。派拉蒙平台的數字架構提供了精確的電源管理,並簡化(huà)了新功能集成,無需交付周期或硬件更改。通過對等離子體變(biàn)化的實時檢測實現了高功率輸出和可重(chóng)複的性能。內部保護限值便於可靠操作。
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