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射頻等離(lí)子(zǐ)體發生器

射頻(pín)等離子(zǐ)體發生器

從各種安裝方式和尺(chǐ)寸到全數字(zì)控(kòng)製和動態等離子響應,我們的射頻發生器是工藝創新的源動力。您可以從多種型號中靈活選擇,並使用獨特的配置和控製功能來滿足特定的應用(yòng)要求。

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射頻等離子體發生器(qì)

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用於核心等離子體應用的行業領先、可重複的功率輸送

Paramount射頻發生器(qì)

以新的運營靈(líng)活性為重點,推進流程開發。派拉蒙®高頻射頻發生器提供寬功(gōng)率範圍,支持多種集成場景,並配備標準串行/模擬接口(kǒu)和其他可選通信接口(kǒu)。派拉(lā)蒙HF能夠實現高縱橫比器件所需的高等離子體密度和離子(zǐ)能量,並加(jiā)快半導體加工工具(jù)下一節點的加(jiā)工速度。派拉蒙平台的數字架構提供了精確的電源管理,並簡化(huà)了新功能集成,無需交付周期或硬件更改。通過對等離子體變(biàn)化的實時檢測實現了高功率輸出和可重(chóng)複的性能。內部保護限值便於可靠操作。

特點

全數字控製
頻率(lǜ)調諧、脈衝和脈衝同步
實時功率和阻抗測量
電弧管理
相位(wèi)同(tóng)步(CEX)
提高等離子體(tǐ)穩(wěn)定性和工藝重複性
精確控製(zhì)射頻功率
快速響(xiǎng)應等離(lí)子體變化
輕鬆適應以滿足特定的應用程序需求

規格

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地址:北京市(shì)海澱區上地(dì)信息路1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

郵(yóu)箱(xiāng):info@bsqsyxx.com

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