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功率（lǜ）輸出係統 射頻匹配網絡 脈衝和直（zhí）流電源係統 射頻等離（lí）子體發生器 遠程等（děng）離子體（tǐ）源

可（kě）控矽功（gōng）率控製係列

靜電電壓表（biǎo） ESD儀器 氣體傳感器 應變傳感器 熱傳感器（qì）

數字溫度計 本安溫度（dù）計 濕度測量儀 射頻和微波 LCR儀表 歐姆表 接地（dì）和粘合 信（xìn）號源和放大器 比率標準