分享 | 無塵室靜電防（fáng）護Q&A問答

A：無塵等級（jí）的劃分依據有Fed-Std-209E和ISO-14644。目前國內主要參照Fed-Std-209E標（biāo）準來定義無塵室的等級，即每立方英尺0.5um塵埃的（de）最多數量Fed-Std-209E。 

△ ISO-14644

A：靜電就是物體表麵過剩或不足（zú）的（de）電（diàn）荷（hé），是正（zhèng）、負電荷在局部範圍內失去平衡的結果。當物體帶有的電子多於或少於原子核的電量，導致正負電量不平衡（héng）。當電子過剩時，物體帶（dài）負電；而電子不足時，物體帶正電。

A：（1）接觸分離

當兩個（gè）相似或相異的物體先接觸後再分離時就會使得一個（gè）物體失去一些（xiē）電荷，如電子轉移到另一個物（wù）體使其帶（dài）正電，而另一物體得到一些剩餘電子而帶負（fù）電。

（2）摩擦起（qǐ）電

實（shí）質上摩（mó）擦起電是一種接觸又分離的造成正負電（diàn）荷不平衡的過程（chéng）。摩擦是一個不斷接觸與分離的過程。因（yīn）此摩擦起電實質上是接觸分離起電。

（3）感應起電

當帶電物體接近不帶電物（wù）體時會在（zài）不帶電的導體的兩（liǎng）端分別感應出負電和正電（diàn）。

A：電暈放電是發生在極不均勻電場中，空氣被局部電離（lí）的一種（zhǒng）放電形式（shì）。當在兩極間施加（jiā）一定的電壓時，兩（liǎng）極間會產生一定的（de）非均勻的電場分布，其中尖斷附（fù）近的場強要比其他地方強，當兩極間（jiān）的電壓升高到某一特定（dìng）值時，尖端附近的場強開始（shǐ）超過（guò）空氣的擊穿場強，進入這一區域的（de）電子被場強加速可獲得足（zú）夠能量，當他們與中性氣體分子或原子碰撞時（shí）引起電離，產生離子和新的電子，同樣新的電子也以同樣（yàng）的（de）方式產（chǎn）生（shēng）下一（yī）代的離子、電子對。

A：（1）隱蔽性：人（rén）體不能直接感知靜（jìng）電除非發生靜電放電（diàn），但是發生靜電放電人體也不（bú）一定能有電擊的（de）感覺，這是因為人體感知的靜電放電電壓為2－3 KV，所以靜電具有隱蔽性（xìng）。

（2）潛在性：有些電子（zǐ）元器件受到（dào）靜（jìng）電損傷後的性能沒有明顯的下降，但多次累加放電會給器（qì）件造（zào）成內傷而形成隱患。因此靜電對（duì）器件的損傷具有潛在性。

（3）隨機性：從（cóng）一個元件產生以後，一直（zhí）到它損壞以（yǐ）前，所有的過程都受到靜電的威脅，而這些靜電的產生也具有隨（suí）機性，其損壞也具有隨機性。

（4）複雜性：靜電放（fàng）電損傷的失（shī）效分（fèn）析工作，因電（diàn）子產（chǎn）品的精、細、微小的結構特點而費時、費事、費錢，要求較（jiào）高（gāo）的技（jì）術並（bìng）往往需要使用掃描電鏡等高精密儀（yí）器。即使如此，有些靜電損傷現象也難以與其他原因造成的損傷加以區別，使（shǐ）人誤把靜電損傷失效當作其他失效。

A：（1）工藝控製法。旨在使生（shēng）產（chǎn）過程（chéng）中盡量少產生靜電荷。從材料選擇、設（shè）備安裝和操作管理等方（fāng）麵采取措施，控製靜電的產生和積聚，控製靜電電位和靜電放（fàng）電的能量，使之不（bú）超過危害的程度。

（2）泄漏法。旨在使靜電荷（hé）通過泄漏達到消除目的。通常采用（yòng）靜電接地使靜（jìng）電荷向大地泄漏或增大物（wù）體電導，使靜電沿物體的（de）表麵（miàn）或通過內（nèi）部泄漏，如增加濕度和添加靜電（diàn）劑。

（3）屏蔽法。用屏蔽罩（zhào）或屏蔽（bì）袋把帶電體與其（qí）他物體隔離，帶電體（tǐ）的電場將不影響周圍其他物體或用屏蔽罩（zhào）把被隔離物體包（bāo）圍（wéi），使之免受外界電場影響。

（4）中和法。旨（zhǐ）在使（shǐ）靜（jìng）電荷通（tōng）過中和的辦法達到消除目的，利用靜電消除器，產生異性電荷的離子（zǐ）與帶電體上（shàng）的（de）電荷中和。

（5）避免尖端（duān）放電（diàn）。使帶電體及周（zhōu）圍（wéi）物體的表麵保持光（guāng）滑（huá）和潔淨，以減少尖（jiān）端放電可能。

A：（1）ESD：Electrostatic Discharge. 靜電（diàn）放電。即當帶電體上的電（diàn）荷所產生的電場強度超過（guò）周（zhōu）圍介質的（de）絕緣擊穿場強（qiáng），帶電（diàn）體表麵附近的（de）介質發生電離，而使帶電體上的靜（jìng）電荷減少（shǎo）或全部消失。

（2）EOS：Electrical Overstress. 電（diàn）過載或電過應力，是指電（diàn）流或電壓超過其最大額定值環境下的某產品功能突然失效的一（yī）種現象。

（3）ESDS：Electrostatic Discharge Sensitive. 靜（jìng）電放電敏感（器件），即在（zài）常規加工、測試或運輸過程中可能會受到（dào）靜電場或靜電放電損害的分立器件。

（4）EPA：Electrostatic Protected Area. 防靜電工作區（qū）域，區域內配備各種靜電控製設備和器材，以限製（zhì）靜電電位，避免（miǎn）靜電放電造（zào）成危害。具有確定邊界和專門標識。

A：如何區（qū）分靜電防護材料和絕緣材料？

（1）導（dǎo）靜電材料：材料表麵電阻率不超（chāo）過1×10⁵Ω/㎡或體積電阻率不超過1×10⁴Ω·cm。這種材料電阻小，電子在其表麵及內部流動非（fēi）常容易，可（kě）流向（xiàng）任何接觸到的其它導體或大地。

（2）靜電屏蔽材料：材料的表麵電阻率小於1×10⁴Ω/㎡或體積電阻率不超過1×10³Ω·cm，采用這種材料製作的法拉第保（bǎo）護（hù）罩可防止靜電敏感器件受到靜（jìng）電影響。靜電（diàn）屏蔽材料（liào）屬於（yú）靜電導體（tǐ）材料的一部分（fèn）。

（3）靜電耗散材料的（de）表（biǎo）麵電阻率大於1×10⁵Ω/㎡但小於或等於1×10¹²Ω/㎡，或體積電阻率大於1×10⁴Ω·cm但（dàn）小於 1×10¹¹Ω·cm。

（4）絕緣材料：材料表麵電阻率大於1×10¹²Ω/㎡，或體積電阻率大於 1×10¹¹Ω·cm。絕緣材料的表麵或內部基本（běn）上沒有電流流動，它的電阻很大，難於接地。這種材料（liào）內的靜電荷會在上麵保留很長時間。

（5）抗靜電通常（cháng）指材料抑製磨擦起電的特性。材料的抗靜電性與其電阻或電阻率沒有必然的聯係。

A：無塵室（shì）髒汙主要來自於人與物體的移動，以及工（gōng）裝（zhuāng）設備及裝配物料等。其（qí）中人是無塵室內最大的汙染源。

A：（1）擦拭（WIPE TEST）

（2）空氣粒子數（shù）APC（Airborne Particle Counter）

（3）液體粒子數LPC （Liquid Particle Counter）

（4）離子數測試IC（Ion Content）

（5）揮發性氣體與凝結物（Outgassing）

（6）紅（hóng）外光（guāng）譜FTIR（（Fourier Transform Infra-Red）

       ±矽、氨基化合物（Silicon, Amide Detection）

       ±鄰苯二甲酸二辛酯DOP--Dioctyl phthalate

（7）非（fēi）揮發性殘留物NVR（Non Volatile Residue）

（8）DI水（shuǐ）細菌數測試（Bacteria）

（9）透（tòu）射電鏡及元素分析（SEM/EDX）

A：