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靜電（diàn）吸盤

靜電吸盤

Advanced Energy 的 Trek 電子吸盤（pán）電源一直是（shì）半導體行業（yè）不可（kě）或缺的設備。Trek 電源（yuán）可以幫助您提高產量，增加（jiā）正常運行時間，從根本上消除晶圓粘著和晶圓爆裂等問題，並減少背麵氣（qì）體錯誤。

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靜電吸盤

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軟件驅（qū）動（dòng）靜電（diàn）卡盤（pán）電源，輸出電壓（yā）範圍為0至±2 kV

Trek 645係列

Trek®645軟件驅動（dòng）靜電吸盤電源具（jù）有記錄在案的曆（lì）史，其效率和吞吐量是其他電源（yuán）的（de）三倍。Trek 645的多功能可靠性能允許在多個獨特的工具（jù）和工藝中使（shǐ）用，無需為設施中的每個獨特工具或工（gōng）藝指定新的供應。

特點 規格 技術文檔

特點（diǎn）

可鎖定的前麵板控製接口

隨（suí）每（měi）個裝置提供的NIST可（kě）追溯校準證書（shū）

支（zhī）持Coulombic和Johnsen Rahbek ESC技術

將靜電吸盤配置文件上傳（chuán）並存儲到裝置中，並通過用戶友（yǒu）好的軟件（jiàn）界麵在內部存儲

晶圓（yuán）檢測包括無晶圓、晶圓存在或晶圓夾緊狀態

減少（shǎo）背麵（miàn）氣體錯誤，提（tí）高吞吐量，並消除晶圓粘性/爆裂問題

控製參數（shù），如過電流、晶片存在和晶片箝位閾值、箝位電（diàn）壓、偏移電壓和內部或外部振幅（fú）/偏（piān）移（yí）控製

調整過程振幅/偏移和輸出控製的多功能性

使（shǐ）用後麵板I/O、串行計算機命令或前麵（miàn）板控件控製輸出

配置自（zì）定義夾緊（jǐn）和拆卸序列以及波形

規格

技（jì）術文檔

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