利用(yòng) Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套(tào)件推進(jìn)等離子工藝(yì)創新,在提高沉積率、改(gǎi)善(shàn)薄(báo)膜平整度和堆積密度的同時最大限度減少電(diàn)弧。
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