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脈衝和直流電(diàn)源(yuán)係統

脈衝和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直(zhí)流套件推進等(děng)離(lí)子工藝(yì)創新,在提高沉積(jī)率、改善薄膜平整度和堆積密度的同時(shí)最大限度(dù)減少電弧。

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脈衝和直流電源係統

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PEII脈衝直流電(diàn)源係統(tǒng)

PEII電源提供40 kHz脈衝寬度調製(PWM)。它具有先進的電弧控製和內部負載匹配功能,當單元組合在一起時,輸出功率高達60千瓦,不需要變壓器或調諧器等外部硬件(jiàn)。電(diàn)源還提供兩個不(bú)同的電弧(hú)處理(lǐ)電路,浮動輸出可以在任(rèn)意(yì)一側接地。

特點

•高功率密度
•寬抽頭(tóu)範圍
•功率、電壓(yā)或電流的調節
•增強的電弧控製
•自(zì)動過程保護
•靈活的模塊化
•高效、緊(jǐn)湊的設計
•雙陰極和其他反應濺射應用,用於創建節能的光(guāng)學和玻璃塗層
•雙(shuāng)陰極PECVD,生(shēng)產用於裝飾薄膜、食品包裝、電容(róng)器薄膜和其(qí)他薄膜的薄膜和塑料塗層
•PECVD、DLC、金屬氧(yǎng)化物和碳(tàn)塗層,提供工具和摩擦學塗層

規格

技術(shù)文檔

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