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脈衝和(hé)直流(liú)電源係統

脈衝和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流(liú)和脈(mò)衝直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率(lǜ)、改善薄膜平整度和(hé)堆積密(mì)度的同(tóng)時(shí)最大(dà)限(xiàn)度(dù)減少(shǎo)電弧。

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脈衝和直流電源係(xì)統

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前所未有的單、雙(shuāng)磁控濺射功率控製

Ascent AP脈衝直流電源係統

Ascent®AP電源以AE®一流(liú)的雙極脈衝(chōng)直流(liú)技術為基礎,通過先(xiān)進的脈衝整形以及包括全電壓反轉和自調整(zhěng)電弧參數在內的四塊漸進式電弧(hú)管理,擴展了您優化輸出的能力。這種緊湊型解(jiě)決方案的專利脈衝技術可主動抑製電弧,同時其廣泛的操作(zuò)範圍(wéi)可解鎖材料選擇,以擴展單磁控管(guǎn)和雙磁控管工藝的靈活性(xìng)和材(cái)料創新。

特點

具(jù)有(yǒu)廣泛功率輸送參數的工藝定製
通(tōng)過分層電(diàn)弧緩解方法進行高級過程管(guǎn)理
緊湊的單機解決方案(最高30千瓦)
Set Point Compensation™技(jì)術可實現穩定的吞吐量
廣泛的操作範圍可實現(xiàn)各種工藝材料
與(yǔ)Advanced Energy™的PowerInsight兼容
電介質和導電(diàn)膜的精確濺射
擴展的過程控製、靈活性和創新
高膠(jiāo)片質量和(hé)產量
可重複、可定製的膠片(piàn)
更高的功率水平,減少電(diàn)弧損(sǔn)傷
易於(yú)集成和控製

規格

技術文檔

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