利用 Advanced Energy 全麵(miàn)的直流(liú)和脈(mò)衝直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率(lǜ)、改善薄膜平整度和(hé)堆積密(mì)度的同(tóng)時(shí)最大(dà)限(xiàn)度(dù)減少(shǎo)電弧。
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