利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜(mó)平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。
隨著製造(zào)技術(shù)的進步,新材料和陰極設計對工藝穩(wěn)定(dìng)性和(hé)薄(báo)膜可重(chóng)複性提出了更大的挑戰。Ascent®AMS電源提供穩定、可重複的電源,無論工藝材料或陰極設計如何。AMS提供(gòng)先(xiān)進的電弧管理,允許最大(dà)限度(dù)地輸送功率,並能更快地恢複處理。極快的恢複也意味著通過電(diàn)弧輸送的能量極低,可以防止基板損壞。對於高功率應用,Ascent AMS可用於主/輔配置。常見的應用(yòng)包括超過100千(qiān)瓦的輸出配置。然而,水/空氣冷卻的組合設計將發電機的占(zhàn)地麵積保持在(zài)最低限度。
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