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脈衝和直流電源係統

脈衝(chōng)和直流電源係統

利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄膜(mó)平整度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。

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極端(duān)電弧條件下的穩(wěn)定功率輸送和高重複性薄膜

Ascent AMS脈衝直流電源係統

隨著製造(zào)技術(shù)的進步,新材料和陰極設計對工藝穩(wěn)定(dìng)性和(hé)薄(báo)膜可重(chóng)複性提出了更大的挑戰。Ascent®AMS電源提供穩定、可重複的電源,無論工藝材料或陰極設計如何。AMS提供(gòng)先(xiān)進的電弧管理,允許最大(dà)限度(dù)地輸送功率,並能更快地恢複處理。極快的恢複也意味著通過電(diàn)弧輸送的能量極低,可以防止基板損壞。對於高功率應用,Ascent AMS可用於主/輔配置。常見的應用(yòng)包括超過100千(qiān)瓦的輸出配置。然而,水/空氣冷卻的組合設計將發電機的占(zhàn)地麵積保持在(zài)最低限度。

特點

電弧管理係統™(AMS)技術——金屬和陶瓷靶的客戶預設
Set Point Compensation™技術(shù)
Arc Sync®技術--主/輔最(zuì)多12個單元
以太網(wǎng)、EtherCAT®、DeviceNet®、Profibus、RS-232/485、以太網/IP和模擬通信
獲得高膠片質量和產量
減少薄(báo)膜、基板和設(shè)備損(sǔn)壞
在(zài)極端電弧條(tiáo)件下實現穩定的吞吐量和功率輸送
易(yì)於(yú)集(jí)成和控製

規格

技術文檔

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