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脈衝(chōng)和直流電源係統

脈衝(chōng)和直流電源係統(tǒng)

利用 Advanced Energy 全麵的直流(liú)和脈衝直流套件推(tuī)進等離子工藝創新,在提高(gāo)沉積率、改(gǎi)善薄膜平整度和堆(duī)積密度的同(tóng)時最大限度減少電弧(hú)。

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脈衝和直流電源係統

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最受認可的<=20kW工藝直流(liú)電源

Pinnacle III脈衝直流電源係統

經過現場驗證的Pinnacle®直流(liú)發電機提(tí)供了卓越的工藝一致性和控製,顯著減少了(le)變化並提高了產量。這種緊湊、多功能的封裝提供了出色的電弧管理,具有低存儲(chǔ)能量、快速電弧響應(yīng)和寬的全功率(lǜ)工作阻抗範圍。

特點

降低運(yùn)營和安裝成本
實現(xiàn)快速電弧響應
配置電弧響應
最大限度地提高流程效率
精確控製您的流程
低存儲能量——每1千瓦(wǎ)輸出小於1 mJ
無抽(chōu)頭更改
輸出重複性±0.1%
目標調節周期(TCC)--最大限度地減少(shǎo)新目標的調節時間
焦耳模(mó)式——優化的能量輸送

規格

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地址:北(běi)京市海澱區(qū)上地(dì)信息路1號2號樓1503

電話:400-888 2679,010-63268128

傳真:010-63268128

郵箱:info@bsqsyxx.com

網址:www.bsqsyxx.com

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