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利用 Advanced Energy 全麵的直流(liú)和脈衝直流套件推(tuī)進等離子工藝創新,在提高(gāo)沉積率、改(gǎi)善薄膜平整度和堆(duī)積密度的同(tóng)時最大限度減少電弧(hú)。
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經過現場驗證的Pinnacle®直流(liú)發電機提(tí)供了卓越的工藝一致性和控製,顯著減少了(le)變化並提高了產量。這種緊湊、多功能的封裝提供了出色的電弧管理,具有低存儲(chǔ)能量、快速電弧響應(yīng)和寬的全功率(lǜ)工作阻抗範圍。
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