利用 Advanced Energy 全麵的(de)直流和脈(mò)衝直流套件推進(jìn)等離子(zǐ)工藝創(chuàng)新,在提高沉積率、改善薄膜平整(zhěng)度和堆積密度的同時最大限度減少電弧。
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