利用 Advanced Energy 全麵的直流和脈衝直流套件推進等離子工藝創新,在提高沉積率、改善薄(báo)膜平整度和堆積密度的同時最(zuì)大(dà)限度減少電(diàn)弧。
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Ascent® DMS係列為雙磁控管濺射提供了(le)前所未有的(de)功率傳輸(shū)方便(biàn)和控製,能(néng)夠精確調整薄膜特性。Ascent DMS配件具有可選(xuǎn)擇的頻率、調節模式(shì)和占空比,以及低存儲能量和(hé)簡化的(de)模塊化係統配置,使其成為真正的下一代技(jì)術。它具有成本效益、可擴(kuò)展性和通(tōng)用性,可最大限度地降低複雜性、提高質量(liàng)並提高吞吐量,從而實現先進的流程創新。Ascent DMS MF-120封裝為標準陰極提供經濟高效的中頻電源,同時提供雙極脈衝技術優勢。
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