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5KV以上高壓放大器 5KV以下高壓放大器

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功率輸出係統 射頻匹配網絡 脈（mò）衝和直（zhí）流電源係統 射頻等離子（zǐ）體發生器（qì） 遠程（chéng）等離（lí）子體源

可控矽功率控製（zhì）係列

靜電電（diàn）壓表（biǎo） ESD儀（yí）器 氣體傳感（gǎn）器 應變傳感器 熱傳感器

數字溫度計 本安溫度計（jì） 濕度測量儀 射頻和微波（bō） LCR儀表 歐姆表 接地和粘合 信（xìn）號源和放大器 比率標準