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射頻匹配網絡

射頻匹配網絡

Advanced Energy 的匹配網絡可在多個功率範圍(wéi)內實現快速、準確和可靠的(de)匹配。提供即插(chā)即用型號或可配置機組,安裝簡便,可加快調諧並加強工藝控製。

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快速(sù)、準確、可靠的數字調諧匹配

Navigator II 匹配網絡

Navigator®ll配備了微處理器控製的步進電機驅動器和先進的(de)調諧算法,實現了優化的射頻功率。可(kě)選的內部Z'Scan®II射頻傳感器可實時分析工藝功率和阻抗,使(shǐ)您能夠快速識別並顯著(zhe)降低工藝可變性。可選的虛擬前麵板軟件可用(yòng)於通過用戶的計(jì)算機進行監控。

特點(diǎn)

具(jù)有增強調諧算法的數字架(jià)構
脈衝射頻功率輸送
掃頻操作
多頻率應用的互調失真(IMD)抗擾度
實(shí)時過程功率和阻抗測量(liàng)
加快調(diào)諧(xié)/匹配響應時間
加強過程控製
有助於提高工(gōng)具吞吐量和產(chǎn)品產量(liàng)

規格

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