Advanced Energy 的匹配網絡可在多個功率（lǜ）範圍內實現快速、準確和可靠的匹配。提供即插即用型號或可配置機組（zǔ），安裝簡便，可加快（kuài）調諧並加強工藝控製。
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Navigator®II FCi是一個獨立的微處（chù）理器控製的阻抗匹配網絡。該匹配網絡（luò）包含由（yóu）分立固態開關電容器陣列調整的調諧元件（jiàn），需要在更寬的阻抗範（fàn）圍內實現快速、精確的調諧。這些匹配具有與傳統匹（pǐ）配類（lèi）似的形式、占（zhàn）地麵積和調諧範圍，與傳統匹配網絡典型的1秒範圍相比，它們提供的調（diào）諧時間在毫秒範圍（wéi）內。這種高速匹配技術經過優化，適用於關鍵的、功率敏（mǐn）感的、短持續時（shí）間（jiān）的等離子體工藝步驟（zhòu），如原子層蝕刻（ALE）。 當配置為全範圍調諧時，Navigator FCi可以覆蓋與真空電容器（qì）匹配（pèi）相同的阻抗空間（jiān）。固態（tài）電路的緊湊性使（shǐ）匹配能夠適應傳統版本的類似占地麵積。由於沒有移動的機械部件，這種匹配消除了傳統匹配固有（yǒu）的（de）磨（mó）損和漂移機製。這使得在一係列具有挑戰性且不斷變化的等離（lí）子體工藝中具有更高的（de）可靠性和可重複性。
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