Advanced Energy 的遠程等（děng）離子（zǐ）體源功能強大、可靠性高，可增強您的製造和清除工藝。助您定製化學特征，擴展工作範圍，提高工藝處理速度。我們先進的方案采用流（liú）線型設計，讓您能夠實現更高水平（píng）的（de）效率（lǜ）和生（shēng）產率。
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Litmas RPS可有效輸送高濃度的反應性氣體，有效減少對環境有害的PFC氣體。將先進的電源和電源技術相結合（hé），使用AE獲得專利的（de）LitmasMatch™固（gù）態電源傳（chuán）輸拓撲結構提（tí）供了一個寬的操作（zuò）窗口，以最大限（xiàn）度地提高工藝開發的靈活性。所選擇的腔室（shì）材料（SiO2或Al2O3）提供低複合以提供高破壞率效率（DRE）和高等離子體密度。這使得能夠與（yǔ）廣泛的工藝化學物質兼容（róng）。優化的設計能夠降（jiàng）低公用設施的使用率，延長使用壽命，從而降低總體擁有成本。
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