MAXstream遠程等離子體源_北京久久精品国产亚洲AV无码偷窥科技有限公司

遠程（chéng）等離子體源

Advanced Energy 的遠程等（děng）離子體源功能強大（dà）、可靠性高，可增強您的製造和清（qīng）除工藝。助您定製化學特征，擴展（zhǎn）工作範圍（wéi），提高工藝處（chù）理速度。我們先進的方案采用（yòng）流線型設計（jì），讓您能夠實現更高（gāo）水平（píng）的效率和（hé）生產（chǎn）率。

遠程等離子體源

用於腔室清（qīng）潔應用的可靠、高（gāo）性能遠程等離子體源

MAXstream遠程等離（lí）子體源

Advanced Energy的MAXstream™係列是（shì）下一代遠程等離子體源，用於腔室清潔。MAXstream有3、6、8、10和12 SLPM NF3流速可供選擇，以優化價格和性能。Advanced Energy憑借其（qí）久經考驗的差異（yì）化等離子體源（yuán）材料（liào）和技術，確保了長腔室壽命和低顆粒生成。獨特的雙點火芯設計提供了一流的等離子體點火可靠性。MAXstream RPS具有可靠且每次點火都能啟動的特點，為RPS維護提供了更一致的操作和更少的停機（jī）時（shí）間。MAXstream RPS有助於降低與傳統RPS係統的兼容性，簡化（huà）兼容性設計，並實（shí）現對新（xīn）的可靠和可重複（fù）解決方（fāng）案的無縫現場升（shēng）級。

特點規格技術文檔

特點

五種型號：適用於低流量應用的MAXstream 300和適用於高流量（liàng）應用（yòng）的MAXstream 600、800、1000、1200
高度可靠的RPS最大限度地延長了工具的正（zhèng）常運行時間
與傳統RPS裝置集成，實現更高性能和可靠性的簡單設計升級路徑
增強等離子體源壁的冷卻，以減少熱膨脹和化學侵蝕造成的損壞
主動監測和控製等離子體功率，實現行業領先的功率控製
使客戶能夠通過多種流量選項優化成本
使用比Xstream RPS更小（xiǎo）的占地麵積節省寶貴的工具空間
使用獨特的AE雙點火芯實現幾乎100%的點火（huǒ）可靠性
使用AE專有的（de）3型陽極氧（yǎng）化高純度（dù）鋁基板，延（yán）長腔室壽（shòu）命（mìng）
通過多（duō）達12個SLPM流量功能減少清潔時間

規格

技術文檔

MAXStream 600, 800, 1000, and 1200 Data Sheet

MAXstream 300 Data Sheet