logo
遠程等離子（zǐ）體源

遠程等離子（zǐ）體源

Advanced Energy 的遠程等（děng）離子體源（yuán）功能強大、可靠性高，可增強您的製造和清除工藝。助您定（dìng）製化學特征，擴展（zhǎn）工作範圍，提（tí）高工藝處理速度。我們先進的方案采用流線型設計，讓您能（néng）夠實現更高（gāo）水平的效率和生產率。

首頁 > 產品中心 > 等離子電（diàn）源產品 > 遠程等離子體源

遠程等離子體源

返回
1
2
3
1
2
3
1
2
3
1
2
3
氧基工藝的理想遠（yuǎn）程（chéng）等離子體源（yuán）

Rapid Ox遠程等離子體源

由（yóu）於（yú）Rapid OX的可移除石英襯墊，減少了（le）複（fù）合效（xiào）應並延長了氧自由基的壽命（mìng）。與陽極（jí）氧化室相（xiàng）比，所得的反應物種延長了（le）壽命，提高了光刻膠剝（bāo）離（lí）率。由於石（shí）英襯裏易於操作員安裝或拆卸，因此減（jiǎn）少了停機時間，並（bìng）顯著降低了更換成本（běn）。

特點 規格 技術文檔

特點

石英（yīng）襯墊使其成為光刻膠灰化或碳（tàn）室清潔工（gōng）藝的理想（xiǎng）選擇（zé）
可變頻率匹配（pèi）提（tí）供了一係列等（děng）離子體阻抗操作，由變化的氣體化學、壓力和功率設定（dìng）點控製
改進的熱管理有助於確保長（zhǎng）腔室壽命
Rapid OX由於低（dī）動態壓力（lì）超調而快速點火並達到穩態運（yùn）行
通過可拆卸和可（kě）更換的石英腔室顯著減少停機時間和擁有成本
由於高離（lí）解率和高密度自由（yóu）基生成，提高了工藝性能
通過（guò）變頻調諧和精確的（de）功率控製確保可（kě）重複、可控的過程
由於可靠的設（shè）計（jì）和冷卻係統，提高了燃燒室的使用壽命並降低了服務成本（běn）
提高工具利用率（lǜ），減少預防性維護，降低CoO

規格

logo

地（dì）址：北京市海澱區上地信息路1號（hào）2號（hào）樓1503

電話：400-888 2679，010-63268128

傳真：010-63268128

郵箱（xiāng）：info@bsqsyxx.com

網（wǎng）址：www.bsqsyxx.com

版（bǎn）權所有© 北京融（róng）源科技有限公司（sī） 京ICP備08008520號-2 技術支持：中企雲達（dá）

久久精品国产亚洲AV无码偷窥_国产精品99久久久久久四虎_精品人妻伦九区久久AAA片_亚洲国产成人精品无码区99_国产亚洲精品无码在线观看_国内精品久久久久影院嫩草_少妇精品无码一区二区免费视频_大地资源二中文在线观看官网_日韩人妻熟女中文字幕