AE 為半導體沉積提供全麵的產品組合，包括（kuò）等（děng）離子電源輸送、溫度（dù）測量、溫度控製和晶圓控（kòng）製解決（jué）方案。
AE 等離子功率傳輸、溫度測量、溫度（dù）控製和晶圓控製解決方案的精確性能和精密控（kòng）製有助於（yú）提高可重複性和產量。
我們提供各（gè）種射頻、直流和脈衝直流電源輸送係統以（yǐ）及各種匹配網絡，以滿足特定的工（gōng）藝要求。
通過全麵的解決方（fāng）案組合加（jiā）強工藝控製
Advanced Energy 的（de）射（shè）頻等離子體（tǐ）功率傳輸和高速匹配技術可為要求苛刻（kè）的（de） PECVD 和 PEALD 沉積工藝提（tí）供性能定製和優化（huà）。我們的（de）直流技術可為 PVD (濺射) 和 ECD 沉積工藝提供可配置電弧響應、功率精度和工藝可重複性。 我們還提供溫度監控、溫（wēn）度控製和晶圓控製技術，可在製造工（gōng）藝的多個環節實現精確控製。
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