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半導體

蝕刻(kè)

Advanced Energy 的高(gāo)精(jīng)度等離子體功率傳輸係統可對蝕刻應用進行精確控製(zhì),從(cóng)而實現高重複性和高產量。

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Advanced Energy 的高精度等離子(zǐ)體功率傳輸係統可對蝕刻應用進行(háng)精確控製,從而(ér)實現高重複性和高產量。

憑借先進的高精度等離子動力傳輸係統,Advanced Energy 站在蝕刻應用技術的最前沿。我們的解決方案利用尖端創新技術,為蝕刻工藝全(quán)程提供精確的功率傳輸和控製。

AE 的等離子電源可根據每個蝕刻應用(yòng)的(de)獨特需求進行(háng)定製。

我們的產品組合包括射(shè)頻、直流和(hé)脈衝直流產品;阻抗匹配(pèi)網絡;遠程等離子源以及先進的數據收集、可視化和分析平台(tái)。這些解決方案采(cǎi)用尖端技(jì)術,能夠確保精(jīng)確可重複(fù)的功率傳輸,從而實(shí)現卓越的製程精度和產量。

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