Advanced Energy 的等離子電源輸送係統、交流/直流和直流/直流前(qián)端電源以及機架係統產品組合能夠以可控、高效的方式提供去除光刻膠所需的精確功率。
在等離子蝕刻過程中,精確控製功率對於確保完美剝離晶(jīng)圓表麵、杜絕任何潛在缺陷至關重要。
在半導體製造中(zhōng),剝(bāo)離步驟的作用是去除殘留的光刻膠。在等離子(zǐ)蝕刻過程中,精確控製功率對於確保完(wán)美剝(bāo)離晶圓表麵、杜絕任何潛在缺陷至關重要。
通過精確控製功率實現完美晶圓剝離。
去除殘留的光刻膠,對於確保高質量產品至關重要。Advanced Energy 的(de)等離子電源輸送係統、交流/直流和直流(liú)/直(zhí)流前端電(diàn)源以(yǐ)及機架係統產品組合能(néng)夠以(yǐ)可控、高效的方式提供去(qù)除光刻膠所需的精確功率。
我們的產品設計始終致力於優(yōu)化效率和功(gōng)率密(mì)度,在降低總擁有(yǒu)成本的同時(shí)確保可靠性和長(zhǎng)時間正常運行。
AE 的各種(zhǒng)行業標準板載(zǎi)電源模塊得到原始設備製造商(shāng)和係統集成商的(de)廣泛應用(yòng),可提供(gòng)半導體製造商所需的靈活性(xìng)和(hé)可擴展性,滿足剝離工藝的要求。